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        產(chǎn)品中心

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        材料可靠性、失效分析 涂鍍層測厚儀

        • 日立FT110A X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測量?jì)x 詳細說(shuō)明

        1.即放即測! 2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量! 3.可無(wú)標樣測量! 4.通過(guò)樣品整體圖像更方便選擇測量位置!

        1. 通過(guò)自動(dòng)定位功能提高操作性

        測量樣品時(shí),以往需花費約10秒的樣品對焦,現在3秒內即可完成,大大提高樣品定位的操作性。

        2. 微區膜厚測量精度提高

        通過(guò)縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。

        3. 多達5層的多鍍層測量

        使用薄膜FP法軟件,即使沒(méi)有厚度標準片也可進(jìn)行多達5層10元素的多鍍層測量。

        4. 廣域觀(guān)察系統(選配)

        可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。

        5. 對應大型印刷線(xiàn)路板(選配)

        可對600×600mm的大型印刷線(xiàn)路板進(jìn)行測量。

        6. 低價(jià)位

        與以往機型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價(jià)格。

        型號

        FT110A

        測量元素

        原子序號Ti(22)~Bi(83)

        X射線(xiàn)源

        空冷式小型X射線(xiàn)管
        管電壓:50(可變更)kV
        管電流:10~1000μA

        檢測器

        比例計數管

        準直器

        ○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種

        樣品觀(guān)察

        CCD攝像頭

        對焦

        激光對焦(自動(dòng))

        濾波器

        一次濾波器(自動(dòng)切換)

        樣品區域

        [固定]535×530 mm
        [電動(dòng)] 260×210 mm (移動(dòng)量X:250 mm, Y:200 mm)

        測量軟件

        薄膜FP法(最大2層、10種元素)、檢量線(xiàn)法

        安全功能

        樣品室門(mén)聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能

        選購項

        · 圖像處理軟件

        · 塊體FP軟件(材料組成分析)

        · 塊體檢量線(xiàn)軟件(電鍍液分析)

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