產(chǎn)品中心
Products光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡 掃描電鏡
特點(diǎn)
核心理念
-
采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。全新設計的電子光學(xué)系統和檢測系統，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號，用戶(hù)可以在短時(shí)間內獲得更全面的樣品信息。 -
采用多通道成像技術(shù)
隨著(zhù)用戶(hù)對成像需求的不斷增長(cháng)，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號。實(shí)現了獲得樣品信息的最大化。 -
支持不同形狀樣品、多種觀(guān)察方法
・大型樣品觀(guān)察
・低真空觀(guān)察
・超低溫觀(guān)察
・實(shí)時(shí)觀(guān)察
等所需的樣品倉和真空系統都十分完備，觀(guān)察方法也是一應俱全。 -
支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍?zhuān)畲笫骺蛇_到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設備可通過(guò)選配附件滿(mǎn)足各種特殊需求。
成像能力
追求信息最大化的檢測系統
隨著(zhù)用戶(hù)對樣品數據的需求更加多元化，對檢測系統在短時(shí)間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現了更快速、更全面的信息收集。
同一條件觀(guān)察
樣品：包裹有機物的金屬棒
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過(guò)UD、MD、LD探測器同時(shí)采集信號的應用實(shí)例 （加速電壓：1 kV）
通過(guò)UD、MD、LD探測器可以同時(shí)采集信號，UD可獲取表面微細形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下，實(shí)現了獲取信息的最大化。
采用可多通道顯示的GUI設計
優(yōu)化信號顯示功能
成像單元在信號顯示上也作了全新升級。
用戶(hù)可根據觀(guān)察需求，選擇不同的視場(chǎng)角和通道數。
單屏最多可同時(shí)顯示4通道信號。
導航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標圖像。
使用雙屏顯示時(shí)，可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個(gè)顯示屏專(zhuān)門(mén)用來(lái)顯示信號，最多可同時(shí)顯示6通道信號。
高自由度的界面布局
使用單屏時(shí)，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫(huà)面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。
支持雙屏顯示
1st顯示屏專(zhuān)門(mén)用來(lái)顯示圖像，2nd顯示屏用來(lái)顯示操作面板畫(huà)面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過(guò)SU7000觀(guān)察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫(huà)面中顯示，界面布局清晰明了。在實(shí)現實(shí)時(shí)監控圖像的同時(shí)，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。
可擴展觀(guān)察和分析方法
樣品倉和馬達臺
樣品倉外觀(guān)
標配18個(gè)附件接口
馬達臺外觀(guān)
XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm
樣品倉可搭載最大直徑為φ 200 mm；最高80 mm的樣品。大開(kāi)倉設計，標配18個(gè)附件接口。樣品臺可搭載XY軸最大移動(dòng)距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺完全不成問(wèn)題。
相機導航功能(*)
通過(guò)相機拍攝樣品
將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫(huà)面上進(jìn)行導航
SU7000可選配導航相機(*)，迅速鎖定要觀(guān)察的位置。相機安裝在樣品倉內，插入樣品后，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì )被顯示到導航畫(huà)面（SEM MAP）窗口，因此，用戶(hù)可以觀(guān)察窗口中的圖像判斷位置。最大適用尺寸為φ 100 mm。
(*)可選配相機。支持動(dòng)態(tài)觀(guān)察的檢測系統
SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀(guān)察。低真空觀(guān)察時(shí)，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）、UVD、MD等各種探測器(**)。
低真空環(huán)境的探測器選擇
左圖為通過(guò)MD（背散射電子），右圖為通過(guò)UVD（二次電子）探測器觀(guān)察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應速度提高
左圖是以一般的響應速度，約每?jì)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫(huà)質(zhì)得到了大幅提升。隨著(zhù)響應速度的提高，更適用于In-Situ觀(guān)察。
(**)可選配PD-BSED、UVD。
規格
項目
內容
圖像分辨率
二次電子分辨率
0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率
20～2,000,000 x
電子槍
發(fā)射體
ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射（肖特基熱場(chǎng)發(fā)射）
加速電壓
0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV）
束流
最大200 nA
探測器
標準探測器
UD （上探測器)
MD （中探測器）
LD （下探測器)
選配探測器*1
PD-BSED (半導體式背散射電子探測器）
UVD（高靈敏度低真空探測器 ）
低真空模式*1
樣品倉壓力范圍
5～300 Pa
可使用探測器
PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達臺
馬達臺控制
5軸馬達驅動(dòng)
移動(dòng)范圍
X
0～135 mm
Y
0～100 mm
Z（WD）
1.5～40 mm
T（傾斜角）
-5～70°
R（旋轉角）
360°
樣品尺寸
最大直徑：φ200 mm, 最大高度：80 mm
顯示器*1
23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏
圖像顯示模式
全屏顯示模式
1,280×960像素顯示
單屏顯示模式
800×600像素顯示
雙屏顯示模式
800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
四屏顯示模式
640×480像素顯示
六屏顯示模式*2
640×480像素顯示 *2
圖像數據保存
保存圖像尺寸
640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件
能譜儀（EDX）
X射線(xiàn)波譜儀（WDX）
電子背散射衍射（EBSD）
陰極熒光探測器（CL)
冷凍傳輸系統
各種功能樣品臺
