產(chǎn)品中心

一、應用范圍

SJ6000 激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在 SJ6000 激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測， 以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

二、產(chǎn)品介紹

激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量?jì)x器，在高端制造領(lǐng)域應用廣泛。

SJ6000 激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達 50000 小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現最高 4m/s 的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。

三、產(chǎn)品配置

SJ6000 激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

四、產(chǎn)品特點(diǎn)

SJ6000 激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和

1.材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。
2.可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

3.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

4.可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

5.可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

6.具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

7.友好的人機界面；

8.豐富的應用功能模塊；

9.向導式的操作流程；

10.簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

11.支持中文、英文和俄文界面；

12.支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

13.內置 13 份標準，包含 GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準�？梢罁�各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線(xiàn)圖和數據報告。

五、國家標準

六、技術(shù)指標

型號：WR50

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.1

最高轉速：10rpm

最高跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍牙傳輸供電方式：鋰電池

信號輸入：差分 TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp 微電流信號輸出形式：10μs 脈沖

觸發(fā)延時(shí)：0.1μs 供電電源：12VDC

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm 標準配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

激光的安全等級達到 Class I 要求

穩頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預熱時(shí)間：約 8 分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃ 存儲溫度范圍：(-20~70)℃ 環(huán)境濕度：(0~95)%RH

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力 0.01℃ 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力 0.01℃ 空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

測量距離：(0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃ 測量分辨力：1nm

測量最大速度：4m/s

軸向量程：(0~15)m 測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R 為顯示值，單位：″；M 為測量距離，單位：m) 測量分辨力：0.1″

軸向量程：(0~15)m 測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R 為顯示值，單位：μm；M 為測量距離，單位：m) 基板尺寸：180mm 可調，360mm 可調

測量分辨力：0.1μm

七、配件與證書(shū)